（1）電阻式氣敏傳感器

　　基本原理

　　是利用氣體在半導(dǎo)體表面的氧化還原反應(yīng)導(dǎo)致敏感元件阻值變化而制成的。

　　當(dāng)半導(dǎo)體的功函數(shù)小于吸附分子的親和力時(shí)，  吸附分子將從器件奪得電子而變成負(fù)離子吸附 ，  半導(dǎo)體表面呈現(xiàn)電荷層。氧氣等具有負(fù)離子吸附傾向的氣體被稱為氧化型氣體或電子接收性氣體。

　　如果半導(dǎo)體的功函數(shù)大于吸附分子的離解能，吸附分子將向器件釋放出電子，而形成正離子吸附 。具有正離子吸附傾向的氣體有h2 、co 、碳?xì)浠衔锖痛碱?lèi)，它們被稱為還原型氣體或電子供給性氣體。

　　當(dāng)氧化型氣體吸附到n 型半導(dǎo)體（sno2, zno) 上，還原型氣體吸附到p 型半導(dǎo)體(cro3) 上時(shí)，將使半導(dǎo)體載流子減少，而使電阻值增大。

　　當(dāng)還原型氣體吸附到n 型半導(dǎo)體上，氧化型氣體吸附到p 型半導(dǎo)體上時(shí)，則載流子增多，使半導(dǎo)體電阻值下降。

n型半導(dǎo)體吸附氣體時(shí)器件阻值變化圖

　　規(guī)則總結(jié)：

　　氧化型氣體＋n型半導(dǎo)體：載流子數(shù)下降，電阻增加

　　還原型氣體＋n型半導(dǎo)體：載流子數(shù)增加，電阻減小

　　氧化型氣體＋p型半導(dǎo)體：載流子數(shù)增加，電阻減小

　　還原型氣體＋p型半導(dǎo)體：載流子數(shù)下降，電阻增加